��������ϴ����ˮ�豸

������19���Ϳ�ѧ���Ƿ����˾����İ뵼�����Ժ��������ı���һ�У����������˼ά��ֱ��������60�����ʼ������Ͼ�ȡ����ԭ������ϡ�����ϨD�D��������͸��ºͿ��������ܽϺã��ر����������������������Զ���ΪӦ�ñȽ϶��һ�ְ뵼����ϣ�Ŀǰ�ļ��ɵ�·�뵼��������������ù���������

�������ڣ����ǵ������д����ɼ�“��”����Ӱ�����ã������̫���ܵ���ǽ�15�����γɲ�ҵ���ȽϿ�ġ�

�������ڵĵ��ʹ�������ʱ��ԭ���Խ��ʯ�������г���ྦྷ�ˣ������Щ���˳��ɾ���ȡ����ͬ�ľ���������Щ����ƽ�н��������ᾧ�ɵ����衣

������������Ʒ�ͨ�������Ƶöྦྷ����޶��ι裬Ȼ����ֱ�������������۷�����������������״�����衣�������������������Ƭ��ԭ���ϣ����Ź��ں��г��Ե�����Ƭ�������Ŀ������ӣ�����������г�����Ҳ�ʿ������������ơ�

����������ԲƬ����ֱ����Ϊ6Ӣ�硢8Ӣ�硢12Ӣ��(300����)��18Ӣ��(450����)�ȡ�ֱ��Խ���ԲƬ�����ܿ��Ƶļ��ɵ�·Խ�࣬оƬ�ijɱ�Ҳ��Խ�͡�����ߴ羧Ƭ�Բ��Ϻͼ�����Ҫ��ҲԽ�ߡ������谴�������������IJ�ͬ����Ϊֱ����(CZ)�����۷�(FZ)�����ӷ���ֱ���������۷�������������ģ����ӷ����������象Ĥ��ֱ���������ĵ�������Ҫ���ڰ뵼�弯�ɵ�·�������ܡ�����Ƭ�ĵס�̫���ܵ�ء�Ŀǰ����ֱ���ɿ�����Φ3~8Ӣ�硣���۷�������Ҫ���ڸ�ѹ���ʿɿ������������㷺���ڴ������硢������������������Ƶ������һ�廯�����ܵơ����ӻ���ϵ�в�Ʒ��Ŀǰ����ֱ���ɿ�����Φ3~6Ӣ�硣����Ƭ��Ҫ���ڼ��ɵ�·����

�������ڳɱ������ܵ�ԭ��ֱ����(CZ)���������Ӧ�ýϹ㡣��IC��ҵ�����õIJ�����Ҫ��CZ�׹�Ƭ������Ƭ���洢����·ͨ��ʹ��CZ�׹�Ƭ����ɱ��ϵ͡��߼���·һ��ʹ�ü۸�ϸߵ�����Ƭ��������IC�������и��õ������Բ���������Latch-up��������

����������Ҳ�ƹ赥�����ǵ�����Ϣ�����бȽϻ����Բ��ϣ����뵼������ࡣ����������͸�����ú͹����Ƽ��и���������ȫ��2000����Ԫ�ĵ���ͨ�Ű뵼���г���95%���ϵİ뵼��������99%���ϵļ��ɵ�·�ù衣

�����ྦྷ����������ԭ�Ӽ����С�ľ�����϶��ɵĹ辧�塣���ڸ������������з���˴˲�ͬ�������д�����ȱ�ݡ��ྦྷ��һ���������ɫ����͸�������н��������Դ࣬�����²����á�

�����ྦྷ�����ý�����(��ҵ��)����ѧ��Ӧ���ᴿ,�ٻ�ԭ�õ��ĸߴ��Ȳ���(Ҳ�л�ԭ��)��Ŀǰ�����϶ྦྷ�������ķ�����Ҫ�и��������ӷ�(SiHCl3)���¹��鷨(SiH4)��SiH2Cl2�ȷֽⷨ��SiCl4���ȶྦྷ���������ա�

������ǰȫ��ྦྷ����г�״���ǣ������������缸��ྦྷ�軹���ڹ�������ľ��棬2004�꿪ʼ������̫���ܲ�ҵ�ķ�չ��̫�����öྦྷ�蹩��Ӧ����ȫ��ྦྷ�蹩Ӧ���š��ڹ��ڣ��ҹ��ྦྷ���������ڲ�����������г���Ҫ�����������ڽ��ڡ�

�����豸������

����ԭˮ��→ԭˮ������→ʯӢɰ������→����̿������→��ˮ��→���ܹ�����→һ����ѹ��→һ������͸→����ˮ��→������ѹ��→�м�ˮ��→EDI������→΢�׹�����→EDIϵͳ→EDIˮ��→�׹�촲→��ˮ��

�����豸���������ͻ�Ҫ�����

������ˮָ�꣺≥18.2MΩ.CM

������ˮ��;

������̫���ܵ�ء�������ྦྷ���Ƭ�������ϴ��LED��LCD������ѧ��ҵ���������Զˮ�����豸��˾ӵ�ж����LED��LCD������ѧ��ҵ����ˮ�ͳ���ˮ�豸����ơ��з������Ժ��ۺ����ijɹ����顣

�������豸����ϣ����ó��졢�ɿ����Ƚ����Զ����̶ȸߵ�����RO+EDIˮ�����գ�ȷ�������ij���ˮˮ�ʷ���Ҫ��ˮ�����ʸߣ����пɿ������ú����ؼ��豸�����Ͼ�����Ŀǰ�Ƚ��ɿ���Ʒ������PLC+���������ƣ�ȫ��ϵͳ�Զ����̶ȸߣ�ϵͳ�ȶ��Ըߡ�����ʡ�����ɱ���ά���ɱ���ʹ�豸������ͬ���Ʒ��Ƚϣ����и��ߵ��Լ۱Ⱥ��豸�ɿ��ԡ�

�������ǹ�˾רҵ��������͸+EDI����ˮ�豸���ж�����������飬�����ڵ��ϵͳPLC������ˮ������ҵ�������DZȽϳ��죬����Ҳ�������ܶ����ҵ��ˮ�����豸���ⷽ�������зḻ�ľ��顣���ǹ�˾���������豸���������Ƕ������ƣ��ڹ��ھ���һ�����г����������ò�Ʒ���ھ߱����ܺá��۸���ڹ���ͬ���Ʒ�۸�����ʱ���ۺ�����ݵ�������ơ���LED��LCD������ѧ��ҵ������ˮ�ͳ���ˮװ�ã��õ���ҵ��Ĺ㷺��������ӭ���ͻ�ǰ���ιۿ��졣